1、關(guān)閉所有電源開(kāi)關(guān)。
 

　　2、打開(kāi)機(jī)后蓋，拔去暗室高壓電源及信號(hào)源插頭，斷開(kāi)連接管線。
 

　　3、松開(kāi)暗室與底座上固定螺絲，取出暗室后，反應(yīng)暗室端蓋固定螺絲。(有氣路管線的端蓋)。小心取下壓蓋、濾光片。如果“O"型圈破碎，請(qǐng)換用新的。
 

　　4、用擦鏡紙擦拭石英片和濾光片，用干凈不帶毛的軟布擦拭反應(yīng)室內(nèi)壁，如有必要，可沾用丙酮或乙醇擦洗干凈，再用氧氣吹干。
 

　　5、反應(yīng)室清洗完畢，重新按順序安裝。注意：固定濾光片、石英片時(shí)，動(dòng)作要平穩(wěn)，緊固程度以保證不漏氣即可，謹(jǐn)防濾光片、石英片破裂。濾光片、石英片位置不要裝反，石英片在反應(yīng)室內(nèi)壁，用于保護(hù)濾光片。
 

　　6、把暗室固定到檢測(cè)器上，接好連接線及氣路管線，避免漏光、漏氣現(xiàn)象。